顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚・光学定数解析が可能な装置です。 各種フィルムやウェーハ、光学材料などのコーティング膜の厚みや多層膜を非破壊・非接触で測定できます。測定 …

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ELSZseriesの最上位機種で希薄溶液~濃厚溶液でのゼータ電位･粒子径測定に加え、分子量測定を可能にした装置です。 新しい機能として粒度分布の分離能を向上させるため多角度測定を採用いたしました。 …

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動的光散乱法(DLS法)による粒子径測定（粒子径0.6nm～10μm）装置です。 品質管理のニーズを更に追求した機能を各種搭載。 希薄～濃厚系まで広濃度範囲で多検体測定対応した新光学系、ラボで必須 …

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紫外から近赤外領域対応の多機能マルチチャンネル分光検出器です。最短5msで分光スペクトル測定ができます。標準装置のオプティカルファイバーにより、サンプル種を特定することなく、さまざまな測定系に対応可能 …

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ウェーハ等の研削研磨プロセスを非接触でウェーハや樹脂の超高速リアルタイム・高精度 に測定

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インラインでのフィルム生産現場においてフィルムの膜厚を全幅・全長測定できる装置です。 独自の分光干渉法に新たに開発した高精度膜厚演算処理技術を組み合わせることで、最短0.01秒毎の測定間隔で500 …

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フィルムなどの研究開発や抜き取り検査に、オフラインで簡単に面内膜厚ムラ検査が可能な装置です。 全面を高速かつ高精度に測定可能です。

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小角光散乱法を用いて、高分子やフィルムの構造をIn-situ、リアルタイムに解析できる装置です。X線や中性子線を用いた装置と比べて、より大きな構造(μmオーダー）の評価が可能です。 偏光板を用いたH …

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従来からの希薄溶液～濃厚溶液でのゼータ電位･粒子径測定に加え、分子量測定も可能な装置です。 粒子径測定範囲（0.6nm～10μm）、濃度範囲（0.00001%～40%）に対応。電気浸透流を実測し、高 …

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